微纳电子学研究院张海霞课题组在高性能纳米发

2019-11-22 13:31栏目:信息科学
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2014年11月15日,能源领域际著名期刊《纳米能源》在线发表了信息科学技术学院微纳电子学研究院张海霞教授课题组应邀撰写,题为High performance triboelectric nanogenerators based on large-scale mass-fabrication technologies的综述文章。文章全面介绍了课题组在基于大规模批量化加工技术的高性能纳米摩擦发电机领域所取得的系列研究成果,总结、归纳了当前纳米摩擦发电机的发展现状和趋势,并对该领域的发展前景和技术路线进行了展望。

张海霞课题组长期致力于将大规模批量化加工技术引入微纳能量领域。他们基于优化深反应离子刻蚀刻蚀技术与柔性材料软光刻技术相结合,实现了一种晶片级柔性薄膜材料的微纳复合结构加工技术;随后将上述大规模加工技术成功引入纳米摩擦发电机领域,制备实现多种高性能发电机;首次将商用柔性印刷电路工艺应用于纳米摩擦发电机的批量化制造,实现了多种不同工作机理的纳米发电机。课题组还从表面等离子体修饰、多层堆叠结构、表面微观结构优化和复合式发电技术等多个角度研究并提升了发电机的性能。此外,也在纳米摩擦发电机的理论基础方面进行探索,在便携式电子器件、主动式传感器、生物医学微系统等方面取得了阶段性进展。

本篇综述论文由张晓升博士为第一作者,张海霞教授为通讯作者,博士研究生韩梦迪和孟博做出了重要贡献;其发表标志着张海霞课题组在纳米摩擦发电机方面的系统性研究得到了国际上的普遍关注与认可。

上述研究工作得到国家自然科学基金、国家高技术研究发展计划和北京市自然科学基金等支持。

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